GBT 14851-2025 电子特气 磷化氢标准立项发展报告.docx

电子特气磷化氢标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicSpecialtyGas—Phosphine

摘要

电子特种气体是集成电路、显示面板、光伏等战略性新兴产业的关键基础材料，其纯度与品质直接决定下游产品的性能与良率。磷化氢（PH?）作为一种重要的n型掺杂气体，广泛应用于半导体离子注入、化学气相沉积及化合物半导体外延生长等工艺环节。随着我国集成电路产业向先进制程迈进，对电子级磷化氢的纯度、杂质控制及检测方法提出了更高要求。GB/T14851-2025《电子特气磷化氢》由国家标准主管部门于2025年3月28日发布，