CN119395944A 一种光刻胶组合物及其图案化的方法 (大连理工大学).pdfVIP

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  • 2026-09-26 发布于重庆
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CN119395944A 一种光刻胶组合物及其图案化的方法 (大连理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119395944A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411521525.X

(22)申请日2024.10.29

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工

路2号

(72)发明人樊江莉郑凌峰杜健军彭孝军

黄心彦赵英东

(74)专利代理机构大连至诚专利代理事务所

(特殊普通合伙)21242

专利代理师刘丽媛续彦龙

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F7/00(2006.01)

G03F7/027(2006.01)

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