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2025年浸润工程师岗位招聘面试考试试题及参考答案.docx

2025年浸润工程师岗位招聘面试考试试题及参考答案.docx

    2025年浸润工程师岗位招聘面试考试试题及参考答案

    一、单项选择题（共10题，每题2分，总计20分。每道题只有1个正确答案，多选、错选、不选均不得分）

    1.浸润式光刻分辨率计算公式R=k?·λ/(n·NA)中，参数n的物理含义是（）

    A.光刻胶折射率B.浸润液折射率C.投影镜头折射率D.晶圆衬底折射率

    2.目前量产阶段193nmArF浸润光刻工艺普遍采用的标准浸润液为（）

    A.高折射率含氟有机溶液B.超纯水C.乙醇水溶液D.硅油

    3.全球主流量产型12寸晶圆ArF浸润光刻设备的最大数值孔径（NA）为（）

    A.0.93B.1.2

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