TCSCP 0059.5-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第 5 部分:电路设计及测试.pdfVIP

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TCSCP 0059.5-2025微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第 5 部分:电路设计及测试.pdf

1Cs77.060

ICS77.060

CCSH25

CCSH25

sc

中国腐蚀与防护学会团体标准

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.5-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感

器

器

第5部分:申路设计及测试

第5部分:电路设计及测试

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor

andsensor——

Part5:Circuitdesignandtesting

2025-09-

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