材料结构分析(9.2.2)--光学仪器的分辨本领与分辨率.pptVIP

第九章

电子光学基础;第二节

光学仪器的分辨本领与分辨率;;用电子光学仪器研究物质组织、结构、成份的技术称为电子显微术。

众所周知，现代科学技术的迅速发展，要求材料科学工作者能够及时提供具有良好力学性能的结构材料及具有各种物理化学性能的功能材料。而材料的性能往往取决于它的微观结构及成分分布。因此，为了研究新的材料或改善传统材料，必须以尽可能高的分辨能力观测和分析材料在制备、加工及使用条件下（包括相变过程中，外加应力及各种环境因素作用下等）微观结构和微区成分的变化，并进而揭示材料成分—工艺—微观结构—性能之间关系的规律，建立和发展材料科学的基本理论。改炒菜式为合金设计。;透射电子显微镜（TEM）正是这样一种能够以原子尺度的分辨能力，同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用，使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全面的信息。;扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)原理的提出与发展，约与TEM同时;但直到1964年，第一部商售SEM才问世。由於SEM为研究物体表面结构及成份的利器，解释试样成像及制作试样较容易，此外还有许多其他优点，目前已被广泛的使用。

扫描电子显微镜（SEM）以较高的分辨率（1nm）和很大的景深清晰地显示粗糙样品的表面形貌，并以多种方