CN119442962A 基于流体力学和小样本预测算法的晶圆抗粘层镀膜工艺优化方法 (上海大学).pdfVIP

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  • 2026-09-28 发布于重庆
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CN119442962A 基于流体力学和小样本预测算法的晶圆抗粘层镀膜工艺优化方法 (上海大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119442962A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202411504626.6G06N3/006(2023.01)

G06N3/0499(2023.01)

(22)申请日2024.10.26

G06N3/084(2023.01)

(71)申请人上海大学

G06N3/126(2023.01)

地址200444上海市宝山区上大路99号

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