材料结构分析(14.1.2)--第1节、第2节、第3节、第4节、第5节.pptVIP

第十四章

扫描电子显微分析;扫描电子显微电镜（SEM）;1电子束与样品的相互作用;当高能电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，99％以上的入射电子能量将转变成热能，其余约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括：

二次电子

背散射电子

透射电子

特征X射线

俄歇电子

…….;二次电子;背散射电子;特征X射线;在有效作用区内的信号并不一定都能逸出材料表面、成为有效的可供采集的信号。这是因为各种信号的能量不同，样品对不同信号的吸收和散射也不同。

随着信号的有效作用深度增加，作用区的范围增加，信号产生的空间范围也增加，这对于信号的空间分辨率是不利的。;2扫描电镜的构造;电子光学系统

信号收集及显示系统

真空系统和电源系统;电子光学系统;电子枪;电磁透镜

其功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束光斑越小，其分辨率就愈高。

扫描电镜通常都有三个聚光镜，前两个是强透镜，缩小束斑，第三个透镜是弱透镜（物镜），焦距长，便于在样品室和聚光镜之间装入各种信号探测器。

为了降低电子束的发散程度，每级聚光镜都装有光阑。为了消除像散，装有消像散器。;扫描线圈

其作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫