CN118996620A 外延炉的源气进气控制组件及调节方法 （浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118996620A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411479798.2

(22)申请日2024.10.23

(71)申请人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限

公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道绿谷大道309号国际车城15号楼

11层-241

(72)发明人徐新华

(74)专利代理机构浙江维创盈嘉专利代理有限

公司33477

专利代理师胡根平

(51)Int.Cl.

C30B25/16(2006.01)

C30B25/14(2006.01)

C30B28/14(2006.01)