GBT 45773-2025 表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则标准立项发展报告.docxVIP

表面化学分析X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—Quasi-Real-TimeInformationfromX-rayPhotoelectronSpectroscopyWideScanSpectra—RulesforIdentificationandCorrectionofCarbon-ContainingCompoundSurfaceContamination

摘要

X射线光电子能谱（XPS）是表面化学分析领域中最重要的表征技术之一，广泛应用于材料科学、半导体制造、催化剂研究及生物医学工程等领域。然而，在XPS全扫描谱的采集过程中，含碳化合物的表面污染（以C1s信号为主要表征）几乎不可避免，严重影响定量分析的准确性和谱图解释的可靠性。本标准（GB/T45773-2025）针对XPS全扫描谱中准实时信息的获取需求，系统规定了含碳化合物表面污染的识别方法与校正规则，涵盖污染来源判别、C1s峰形分析、校正算法选择及数据报告规范等核心技术内容。标准的发布填补了我国在XPS表面污染校正领域标准化文件的空白，为表面化学分析实验室提供了统