离子源工作原理详解与应用实例.pdfVIP

引电子由中和器或与气体碰撞产生空间电荷得到补偿只有在完全得到补偿后离子束才会保持大致平行的出射方向如果没有补偿离子束会膨胀失去初始的电流密度准中性的等离子体和完全补偿的离子束的差别在于基体定向离子速度无栅极离子源的本质是减少阳极对电子的吸收

离子源工作原理

能量大于eV分散束流较宽能量分布情况的应用同时应用领域可以接受一定数量的溅射污染由于没有灯丝ALIS也可在反应气体下放电EndHall源也属于无栅极离子源范畴但不同于TALOEndHall源的磁场是轴向发散的导致其放电机制有很大不同在较低的

极层的形成与放电电压变化相关本文采用的DC和脉冲放电的电压均设定为VLinearIonSourceHighVoltageDC放电情况电压lkV电流A从电流波形可见微弧的存在一一这是因为不导电的DLC沉积在放电区域造成的电荷积累微弧会影响膜层