磷化铟多晶 标准规范分类.docxVIP

磷化铟多晶

Polycrystallineindiumphosphide

1范围

本标准规定了磷化铟多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。

本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

相关标准贵金属及其合金密度的测试方法

相关标准非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

相关标准半导体材料牌号表示方法

3要求

3.1牌号

磷化铟多晶的牌号表示应符合相关规定。

3.2电学性能

磷化铟多晶的电学性能应符合表1的规定。

表1电学性能

项目

要求

A级

B级

C级

D级

E级

载流子迁移率cm2/(V·s)

≥4500

≥3500

≥3000

≥2500

≥2500

载流子浓度

atoms/cm3

≤3×1015

≤6×1015

≤8×1015

≤1×1016

≤3×101?

3.3密度

磷化铟多晶的理论密度为4.787g/cm3,实测密度与理论密度的偏差应在±5%以内，即实测密度应为4.548g/cm3~5.026g/cm3。

3.4外观质量

磷化铟多晶为灰色固体，表面致密、无孔洞、