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X射线光电子能谱荷电校正试验规范

1范围

本规范规定了X射线光电子能谱（X-rayPhotoelectronSpectroscopy，以下简称XPS）测试过程中荷电校正的试验方法、操作流程、数据处理要求及结果验证规则，适用于所有非导电样品、弱导电样品以及在X射线辐照下会产生荷电效应的导电样品的XPS测试分析工作，包括但不限于无机非金属材料、高分子聚合物、涂层、薄膜、粉体材料、生物样品等的表面元素定性、定量分析及化学态表征。涉及高真空环境下的原位XPS测试、变温XPS测试等特殊测试场景时，可在本规范基础上结合具体测试需求补充调整校正方案。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T22571-2017表面化学分析X射线光电子能谱仪性能和校准ISO15472:2019表面化学分析X射线光电子能谱能量刻度校准ASTME1523-21X射线光电子能谱中电荷校正和报告的标准指南JC/T2669-2022无机非金属材料表面元素分析X射线光电子能谱法

3术语和定义

3.1荷电效应指非导电或弱导电样品在X射线辐照下，表面发射光电子后无法及时从外界得到电子补充，导致样品表面出现正电荷积累，使光电子动能测量值低于真实值，最终造