ISO 13084：2025 表面化学分析 质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量刻度校准标准立项发展报告.docx

表面化学分析质谱飞行时间二次离子质谱仪的质量刻度校准标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Massspectrometries—Calibrationofthemassscaleforatime-of-flightsecondaryionmassspectrometer

摘要

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是当前最具代表性的表面化学分析技术之一，能够在微米及亚微米尺度上对固体材料最表层数个原子层内的元素、同位素与分子