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XPS成像空间分辨率的实验优化方法考核试卷

一、单项选择题（每题1分，共30题）

1.XPS成像中，提高空间分辨率的主要方法是？

A.增加样品量

B.使用更小的电子束

C.提高真空度

D.增加扫描次数

2.在XPS成像中，以下哪个参数与空间分辨率无关？

A.电子束直径

B.加速电压

C.能量分析器分辨率

D.扫描步长

3.XPS成像中，通常使用的电子束直径是多少？

A.10微米

B.1微米

C.100纳米

D.10纳米

4.XPS成像中，能量分析器分辨率通常设置为？

A.0.1eV

B.1eV

C.10eV

D.100eV

5.XPS成像中，扫描步长越小，空间分辨率是？

A.越低

B.越高

C