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晶体硅太阳能电池生产工艺流程图
池制造的第一道常规工序甩干清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干扩散刻蚀多数厂家都选用P型硅片来制作太阳能电池一般用POCl液态源作为扩散源扩散设备可用横向石英管或式扩散炉进行磷扩散形成PN结扩散的最高温度可达到这种方法制出的PN结均匀性好方块
电池片工艺流程说明：
(1)清洗、制绒：首先用化学碱（或酸）腐蚀硅片，以去除硅片表面机
械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金字塔结构的绒面从而减少光反
射
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晶体硅太阳能电池生产工艺流程图
池制造的第一道常规工序甩干清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干扩散刻蚀多数厂家都选用P型硅片来制作太阳能电池一般用POCl液态源作为扩散源扩散设备可用横向石英管或式扩散炉进行磷扩散形成PN结扩散的最高温度可达到这种方法制出的PN结均匀性好方块
电池片工艺流程说明：
(1)清洗、制绒：首先用化学碱（或酸）腐蚀硅片，以去除硅片表面机
械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金字塔结构的绒面从而减少光反
射
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