氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.docxVIP

氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法

Testmethodformagnesiumcontentingalliumnitridematerials—Secondaryionmassspectrometry

1范围

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。

本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014cm-3。

注：氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

相关标准半导体材料术语

相关标准表面化学分析词汇

相关标准分析仪器性能测定术语

3术语和定义

相关标准界定的术语和定义适用于本文件。

4方法原理

在高真空（真空度优于10-6Pa)条件下，氧离子源产生的一次离子，经过加速、纯化、聚焦后，轰击氮

化镓样品表面，溅射出多种粒子。将其中的离子（即二次离子）引出，通过质谱仪将不同质荷比的离子分开，记录并计算样品中镁与镓的离子计数率之比，利用相对灵敏度因子定量分析并计算出氮化镓材料中的镁含量。

5干扰