MEMS型硅基压阻压力传感器的增敏设计与分析.pdfVIP

第51卷第4期火箭推进Vol.51,No.4

2025年8月JOURNALOFROCKETPROPULSIONAug.2025

D0I;10.3969/j.issn.1672-9374.2025.04.014

MEMS型硅基压阻压力传感器的增敏设计与分析

黄允祗，马帅，尹忠良，凌思睿，张春伟

（北京航天试验技术研究所，北京100074）

摘要：为有效测量实际工作压力，设计了一种高灵敏度线性硅基压阻式压力传感器。在压力传感

器中研究了具有相似表面积和厚度的两种隔膜结构（圆形和八边形）。首先建立含有隔膜的压力传感

器数学模型，基于薄板理论获得隔膜的挠度和应力公式。再利用COMSOL软件建立硅基压力传感器

的有限元仿真模型，该传感器模型由边缘为固定支撑的隔膜主体和四周惠斯通电桥组成。通过有限

元法模拟在外加压力载荷作用下传感器的静态响应，求出应力、挠度、灵敏度等响应结果并进行