原创力文档化学气相沉积用六甲基钨和六氟化钨的比较指南 A Comparative Guide to Hexamethyl Tungsten and Tungsten Hexafluoride for Chemical Vapor Deposition.pdfVIP
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- 2026-10-10 发布于广东
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ValidationComparative
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AComparativeGuidetoHexamethylTungsten
andTungstenHexafluorideforChemicalVapor
Deposition
Author:BenchChemTechnicalSupportTeam.Date:April2026
CompoundofInterest
CompoundName:Hexamethyltungsten
CASNo.:36133-73-0
Cat.No.:B1219911
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