原创力文档半导体应用六氟化钨（WF6）综合基准指南 A Comprehensive Benchmarking Guide to Tungsten Hexafluoride (WF6) for Semiconductor Applications.pdfVIP
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- 2026-10-10 发布于广东
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AComprehensiveBenchmarkingGuideto
TungstenHexafluoride(WF6)forSemiconductor
Applications
Author:BenchChemTechnicalSupportTeam.Date:May2026
CompoundofInterest
CompoundName:Tungstenhexafluoride
CASNo.:7783-82-6
Cat.No.:B1630381
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