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MEMS麦克风量产检验SOP.docx

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    MEMS麦克风量产检验SOP

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、引用标准 2

    二、检验职责划分 5

    三、检验环境要求 8

    四、来料检验规范 11

    五、晶圆级检验要求 13

    六、芯片级测试规范 15

    七、封装成品外观检验 18

    八、电性能参数测试 20

    九、声学性能测试 24

    十、可靠性检验项目 27

    十一、静电防护检验要求 32

    十二、不合格品处理流程 34

    十三、检验记录与存档要求 37

    十四、检验设备校准规范 40

    十五、包装与出货检验 43

    十六、附则 45

    引用标准

    基础通用标准

    1、国际通用标

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