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MEMS传感器电磁兼容设计.docx

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    MEMS传感器电磁兼容设计

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、MEMS传感器电磁兼容设计概述 3

    二、电磁干扰对MEMS传感器的危害机理 5

    三、MEMS传感器内部电磁干扰源识别分析 7

    四、外部电磁场对MEMS的干扰耦合路径研究 9

    五、MEMS传感器电磁兼容设计核心原则 12

    六、MEMS传感器结构布局电磁优化设计 16

    七、MEMS传感器电磁屏蔽结构设计方案 18

    八、MEMS传感器接地系统优化设计方法 23

    九、MEMS传感器信号滤波电路设计技术 26

    十、MEMS传感器电源系统抗干扰设计 29

    十一、MEMS传感器连接

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