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MEMS传感器课件教学课件.docx

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    MEMS传感器课件教学课件

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、MEMS传感器概述 3

    二、MEMS传感器基本原理 5

    三、微机电系统结构基础 8

    四、微尺度力学与动力学 12

    五、MEMS材料与薄膜技术 15

    六、MEMS加工工艺基础 16

    七、硅基微加工技术 20

    八、传感器信号转换机制 23

    九、电容式MEMS传感器 25

    十、压阻式MEMS传感器 28

    十一、压电式MEMS传感器 31

    十二、热式MEMS传感器 34

    十三、光学式MEMS传感器 39

    十四、磁敏式MEMS传感器 42

    十五、惯性MEMS传感

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