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MEMS传感器原理手册.docx

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    MEMS传感器原理手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、MEMS传感器基本定义与核心特征 3

    二、MEMS传感器核心技术演进脉络 5

    三、MEMS传感器主要分类体系框架 7

    四、MEMS传感器核心制备工艺流程 12

    五、MEMS传感器关键材料特性要求 15

    六、压阻式MEMS传感器工作原理 18

    七、电容式MEMS传感器工作原理 23

    八、压电式MEMS传感器工作原理 25

    九、热电式MEMS传感器工作原理 28

    十、谐振式MEMS传感器工作原理 31

    十一、光学式MEMS传感器工作原理 33

    十二、MEMS加速度计核心工

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