GBT 46081-2025 真空技术　真空计　磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告.docxVIP

真空技术真空计磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—VacuumGauges—Specifications,CalibrationandMeasurementUncertaintyofMagneticSuspensionRotorVacuumGauges

摘要

真空计量技术是半导体制造、航空航天、核工业、薄膜沉积及大科学装置等高新技术领域的关键基础支撑。磁悬浮转子真空计（MagneticSuspensionRotorVacuumGauge,MSRG）作为一类高精度、宽量程的真空测量仪器，在\(10^{-4}\)Pa至\(10^{0}\)Pa范围内的绝对真空测量中具有不可替代的作用。随着我国高端制造业和前沿科学研究的快速发展，对磁悬浮转子真空计的规范化设计、标准化校准及测量不确定度评定提出了迫切需求。本标准（GB/T46081-2025）规定了磁悬浮转子真空计的术语和定义、技术要求、校准方法及测量不确定度评定原则，明确了校准装置、校准条件、校准项目和校准程序，并给出了测量不确定度的主要来源与评定方法。本标准的制定填补了国内在磁悬浮转子真空计领域标准化文件的空白，对提升我国真空计量能力、保障真空测量数据的准