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MEMS传感器批次检验规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、适用范围 7
三、规范性引用文件 8
四、术语和定义 10
五、检验基本要求 12
六、抽样检验方案 16
七、检验前准备工作 18
八、外观质量检验 21
九、尺寸精度检验 23
十、电性能参数检验 27
十一、灵敏度特性检验 30
十二、线性度特性检验 33
十三、迟滞特性检验 36
十四、重复性特性检验 39
十五、温度适应性检验 41
十六、可靠性能检验 43
十七、封装完整性检验 47
十八、标识规范性检验 5
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