MEMS传感器振动测试报告.docx

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MEMS传感器振动测试报告

目录TOC\o1-4\z\u

一、测试目的 4

二、测试参考标准 5

三、测试对象概况 9

四、测试环境条件 10

五、测试设备清单 13

六、振动测试分类 15

七、正弦振动测试 19

八、随机振动测试 21

九、冲击振动测试 24

十、谐振频率测试 27

十一、阈值灵敏度测试 31

十二、线性度误差测试 33

十三、重复性误差测试 35

十四、振动方向特性测试 37

十五、温度漂移特性测试 40

十六、疲劳寿命测试 43

十七、过载耐受测试 45

十八、数据采集方法

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