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MEMS传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、术语与定义 5
三、品质控制目标 8
四、组织职责 11
五、产品分类与等级 13
六、设计开发品质控制 17
七、材料与供应商控制 19
八、晶圆制造过程控制 22
九、封装测试过程控制 25
十、关键工艺参数管理 28
十一、检验设备与量具管理 30
十二、检验方法与抽样要求 33
十三、环境可靠性试验 35
十四、性能指标与判定 40
十五、不合格品控制 43
十六、变更控制 45
十七、数据记录与追溯 49
十八、客户
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