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MEMS传感器教学教案.docx

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    MEMS传感器教学教案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、课程概述 3

    二、教学目标 5

    三、教学重点与难点 6

    四、MEMS传感器基本原理 10

    五、微结构与敏感材料 13

    六、微机械加工工艺 17

    七、传感器信号检测电路 21

    八、信号调理与数据处理 24

    九、加速度传感器 27

    十、陀螺仪传感器 32

    十一、压力传感器 36

    十二、微型麦克风 39

    十三、温度与湿度传感器 42

    十四、传感器性能指标与测试 46

    十五、课程总结与教学评价 51

    课程概述

    课程定位与教学目标

    本课程旨在为从事MEMS

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