GBT 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃标准立项发展报告.docxVIP

光刻用掺钛石英玻璃标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Titanium-DopedQuartzGlassforPhotolithography

摘要

随着集成电路制造工艺向7nm及以下技术节点持续推进，光刻技术对光学材料的性能要求日益严苛。掺钛石英玻璃凭借其优异的超低热膨胀特性，成为极紫外（EUV）光刻光学系统的关键核心材料。本标准（GB/T45826-2025）规定了光刻用掺钛石英玻璃的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和贮存等内容，适用于光刻设备中光学透镜、反射镜基板及光学窗口等用掺钛石英玻璃材料。标准的制定填补了国内该领域产品标准的空白，为光刻用掺钛石英玻璃的生产、检验和贸易提供了统一的技术依据，对推动我国高端光学材料国产化替代、保障集成电路产业链供应链安全具有重要意义。本标准于2025年5月30日发布，2025年12月1日正式实施。

关键词

中文关键词：掺钛石英玻璃；光刻；极紫外光刻；超低热膨胀；光学材料；国家标准；集成电路

Keywords:Titanium-dopedquartzglass;Photolithography;Extremeultravioletlithography;Ultra-lowthermalexpansion;Opticalmaterials;