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半导体制造中的导热界面材料：液态金属与碳纳米管阵列在芯片散热中的突破

全局数据规范：全篇所有量化数据须标注来源与时间口径；历史数据须真实可溯，预测性数据须注明推断依据与关键假设；多采用表格呈现数据与对比信息。

本报告说明（300-500字）

本报告聚焦半导体制造过程中导热界面材料（ThermalInterfaceMaterial，TIM）的两项前沿技术——镓基液态金属（Ga?basedLM）及垂直碳纳米管阵列（VerticallyAlignedCNTArray，VACNT）。通过文献梳理、专家访谈及二手数据汇总，评估镓基液态金属对铝散热器的腐蚀抑制方案，并分析垂直