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- 2026-10-15 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119458136A
(43)申请公布日2025.02.18
(21)申请号202411437492.0B24B1/00(2006.01)
H01L21/3105(2006.01)
(22)申请日2024.10.15
H01L21/321(2006.01)
(71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司
地址100176北京市大兴区经济技术开发
区泰河三街1号2幢2层101
(72)发明人罗付蔡长益张康詹阳
(74)专利代理机构河北国维致远知识产权代理
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