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洁净厂房洁净级别划分方案.docx

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    洁净厂房洁净级别划分方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、适用范围 7

    三、术语与定义 8

    四、级别划分原则 10

    五、核心控制参数要求 12

    六、洁净级别分级框架 15

    七、百级及以上超高级别洁净区 18

    八、千级中级洁净区 20

    九、万级普通洁净区 22

    十、十万级一般洁净区 25

    十一、大于十万级非洁净过渡区 27

    十二、暖通系统配置要求 30

    十三、气流组织适配标准 32

    十四、过滤装置等级要求 37

    十五、压差控制规范 40

    十六、温湿度调控要求 43

    十七、通风换气次数标准

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