多芯片异构集成封装工艺方案.docx

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多芯片异构集成封装工艺方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、适用范围 5

三、工艺总体技术路线 7

四、异构芯片选型与匹配要求 9

五、基板材料与结构设计 11

六、芯片贴装工艺方案 16

七、互连工艺技术方案 19

八、散热结构设计工艺 22

九、封装防护工艺方案 24

十、三维集成工艺方案 29

十一、电气性能调试工艺 33

十二、可靠性验证工艺方案 36

十三、质量检测标准与流程 42

十四、生产设备配置要求 45

十五、工艺参数控制规范 49

十

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