YST 1747-2025 硅材料中氢含量的测定 惰性气体熔融热导法标准立项发展报告.docx

硅材料中氢含量的测定惰性气体熔融热导法标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofHydrogenContentinSiliconMaterials—InertGasFusion-ThermalConductivityMethod

摘要

硅材料是集成电路、光伏电池等战略性产业的核心基础材料，其纯度与杂质控制水平直接决定下游产品质量。氢作为硅材料中重要的痕量杂质元素，主要来源于多晶硅合成与还原工艺用氢及表面吸附，过量氢会在晶体生长及热加工过程中诱发气泡、孔洞、微裂纹等氢