玻璃基板TGV通孔填充工艺SOP.docx

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玻璃基板TGV通孔填充工艺SOP

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 2

二、人员资质与职责 4

三、设备与材料要求 6

四、玻璃基板前处理 9

五、TGV通孔制备 11

六、通孔残留物清除 13

七、通孔表面改性处理 15

八、TGV通孔填充作业 18

九、填充层固化处理 21

十、填充质量初检 24

十一、通孔电学性能测试 27

十二、通孔结构性能检测 31

十三、填充缺陷返修作业 34

十四、工艺参数管控要求 37

十五、现场安全管理规范 40

十六、作业记录与归档

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