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玻璃基板TGV通孔填充工艺SOP
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、人员资质与职责 4
三、设备与材料要求 6
四、玻璃基板前处理 9
五、TGV通孔制备 11
六、通孔残留物清除 13
七、通孔表面改性处理 15
八、TGV通孔填充作业 18
九、填充层固化处理 21
十、填充质量初检 24
十一、通孔电学性能测试 27
十二、通孔结构性能检测 31
十三、填充缺陷返修作业 34
十四、工艺参数管控要求 37
十五、现场安全管理规范 40
十六、作业记录与归档
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