电子信息制造高端芯片封装测试技术规范.docx

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电子信息制造高端芯片封装测试技术规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 2

二、规范性引用文件 8

三、术语与定义 11

四、封装测试通用要求 13

五、先进封装技术要求 15

六、晶圆级封装技术规范 19

七、3D集成封装技术规范 23

八、芯粒封装技术规范 27

九、芯片功能测试规范 31

十、芯片性能测试规范 33

十一、可靠性测试规范 36

十二、失效分析技术规范 41

十三、封装工艺控制要求 45

十四、测试设备校准要求 49

十五、质量检验判定规则 51

十六、文档与数据管理要求 54

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