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电容式的微型机械超声换能器CUMT有限元建模与仿真分析案例

目录

TOC\o1-3\h\u29200电容式的微型机械超声换能器CUMT有限元建模与仿真分析案例 1

228831.1有限元方法 1

234301.2有限元软件简介 2

147131.3CUMT微元及有限元模型 3

31921.4仿真及结果 4

161681.4.1静态分析 4

34601.4.2模态分析 7

294011.4.3谐响应分析 8

16791.4.4瞬态分析 10

1.1有限元方法

在实际工作中，总会出现一些难题，而那些涉及到力、场及其多物理场耦合关系的难题，通常都能归结为在特定的初始条件和稳定的时间约束下对常微分方程组求解上的困难。因为常微分方程组计算的复杂性，所以引入了有限元分析法。

有限元分析法（FiniteElementAnalysis，FEA）是一个典型的数值模拟方法，它的核心概念和最重要方法都是利用在数学上无限近似的手段使一些复杂的现象简单化，在实际工作中有着很重要的实用性价值REF_Ref101629407\r\h[23]。

有限元分析法是指把某个重复的问题(无限的解决域)划分为有限个微小单位，对各个细微单位展开求解计算分析，得出各个单位的解，而后根据物质的环境求得最后的结论。从其中求解得到的微