基于硅酸镓镧的声表面波高温压力器件微结构加工制造技术研究.pptxVIP

content目录01研究背景与科学意义02材料特性与敏感机理分析03微纳成形制造关键技术突破04高温热压键合与气密封装工艺05器件集成与性能测试验证06技术挑战与未来发展方向

研究背景与科学意义01

高温环境下压力参数原位监测的技术瓶颈与现实需求日益凸显极端工况需求航空航天、能源动力等领域对高温高压环境下压力参数的实时监测需求迫切，传统传感器难以适应超过600℃的极端环境，亟需新型耐高温传感技术支撑装备安全运行。原位测量瓶颈现有接触式传感器在高温下易发生材料退化与信号漂移，且布线困难，无法实现狭小空间内的无源无线原位测量，制约了关键部位状态感知的精度与可靠性。无线传感能力声表面波技术无需内置