CN119400732A 一种半导体处理装置及其控制方法 (湖北星辰技术有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-17 发布于重庆
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CN119400732A 一种半导体处理装置及其控制方法 (湖北星辰技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119400732A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411490542.1

(22)申请日2024.10.24

(71)申请人湖北星辰技术有限公司

地址430205湖北省武汉市东湖新技术开

发区流芳园横路12号汇成工业科创园

2号楼11F(自贸区片区)

(72)发明人邢子健

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师徐彤

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图10页

(54)发明名称

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