ISO 16413：2020 通过X射线反射法评估薄膜的厚度 密度和界面宽度 - 仪器要求 对准和定位 数据采集 数据分析和报告标准立项发展报告.docx

X射线反射法评估薄膜厚度、密度和界面宽度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:EvaluationofThickness,DensityandInterfaceWidthofThinFilmsbyX-rayReflectometry—InstrumentalRequirements,AlignmentandPositioning,DataCollection,DataAnalysisandReporting

摘要

随着纳米技术和薄膜材料在半导体、光电子、新能源等领域的广泛应用，对薄膜厚度、密度及