光谱共焦位移测量仪校准规范 标准立项发展报告.docx

光谱共焦位移测量仪校准规范标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:CalibrationSpecificationforChromaticConfocalDisplacementMeasuringInstruments

摘要

光谱共焦位移测量技术是一种基于透镜色散编码原理的高精度非接触式光学测量技术，具有测量分辨率高、可测量透明及多层材料、适应复杂微结构表面等优点，已广泛应用于半导体制造、精密机械加工、光学元件检测、薄膜厚度测量等领域。随着我国高端装备制造业和集成电路产业的快速发展，光谱共焦位移测量