原创力文档nist -反应等离子体中的操作 XPS 壁反应的重要性 Operando XPS in reactive plasmas The importance of the wall reactions.pdf
JVSTA1
OperandoXPSinReactivePlasmas:TheImportance
ofTheWallReactions
Runningtitle:PlasmaXPSandWallReactions
RunningAuthors:J.TreyDiulus
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