化合物半导体芯片工厂设计要点解读.docx

化合物半导体芯片工厂设计要点解读

适用范围

本设计要点适用于设计院、业主单位开展化合物半导体芯片工厂新建、改建、扩建项目的方案设计、初步设计、施工图设计及竣工验收工作，为项目全流程提供合规性、专业性的设计指导。

主要撰写依据

本项目设计严格遵循现行有效的国家及行业标准规范，核心依据包括：

《半导体器件制造洁净厂房设计规范》（GB50727-2011）

《电子工业职业安全卫生设计规定》（GB50472-2008）

《建筑设计防火规范（2018年版）》（GB50016-2014）

《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》（GB50019-2015）

《供配电系统设计规范》（GB50052-