洁净室微振控制设计规范.docxVIP

PAGE

洁净室微振控制设计规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、术语与定义 6

三、微振控制目标 12

四、微振环境等级 13

五、设计基本要求 17

六、场地振动调查 19

七、振动源识别与评估 22

八、微振控制方案 24

九、建筑结构设计 27

十、设备基础设计 33

十一、隔振与减振设计 35

十二、管线与附属设施设计 37

十三、振动监测系统设计 39

十四、施工与安装要求 42

十五、检测与验收要求 45

总则

目的与依据

本规范旨在明确洁净室微振控制领域的设计原则、技术标准及实施要求，保障洁净室环境稳定性，确保相关设备运行精度与洁净度，同时为相关工程设计与实施提供统一的通用指引。

规范编制主要依据洁净室微振控制领域通用设计经验、工程实践规律及行业标准制定要求，覆盖设计、验证、运行全周期核心要求，以保障洁净室微振控制系统的可靠性、适用性与安全性。

适用范围

本规范适用于所有涉及洁净室微振控制系统的工程设计与实施场景，涵盖从洁净室布局规划、微振控制方案设计，到设备选型配置、参数调整验证、长期运行监测管控等全流程环节，同时适用于微振控制系统的升级改造、参数适配调整相关工作，不针对特定工程类型或特殊用途场景另行制定细化要求。

术语定义

本规范中所涉及的核心术语定义如下：

1、洁