DSISO 14644-13-2026 洁净室及相关受控环境 第13部分:表面清洁以达到基于颗粒和化学浓度的规定洁净度级别 标准立项发展报告.docx

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洁净室及相关受控环境第13部分:表面清洁以达到基于颗粒和化学浓度的规定洁净度级别标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments–Part13:Cleaningofsurfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleandchemicalconcentration

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密电子、航空航天及新

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