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MEMS生物传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、产品分类与型号 6
三、品质控制基本原则 9
四、质量管理体系要求 12
五、设计开发控制 17
六、原材料与元器件控制 20
七、微纳制造过程控制 22
八、生物功能材料控制 25
九、封装与互连控制 27
十、生产环境与洁净度控制 30
十一、检验设备与计量管理 33
十二、产品性能指标要求 35
十三、生物识别性能检验 38
十四、电气与机械安全检验 42
十五、环境适应性与可靠性试验 45
十六、批次检验与放行规则
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