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MEMS柔性传感器品质控制规范.docx

MEMS柔性传感器品质控制规范.docx

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    MEMS柔性传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 2

    二、规范性引用文件 4

    三、术语和定义 6

    四、产品分类与型号 8

    五、技术要求 12

    六、原材料与元器件要求 15

    七、设计与开发控制 16

    八、制造过程控制 19

    九、检验与试验方法 22

    十、性能指标与测试要求 25

    十一、环境适应性要求 29

    十二、可靠性与寿命要求 32

    十三、校准与测量管理 34

    十四、包装运输与贮存 37

    十五、标识与追溯管理 40

    十六、不合格品控制 42

    范围

    适用范围

    本规范适用于各类MEMS

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