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MEMS力觉传感器品质控制规范
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一、总则 4
二、适用范围 6
三、术语和定义 7
四、产品分类与型号 12
五、质量目标与控制原则 16
六、质量管理职责 19
七、设计开发质量控制 21
八、原材料与外购件控制 23
九、供应商质量管理 26
十、生产环境与洁净控制 30
十一、MEMS芯片制造过程控制 32
十二、封装与组装过程控制 35
十三、校准与补偿控制 37
十四、检验与试验设备管理 40
十五、过程检验控制 44
十六、成品检验与放行 47
十七、性能指标
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