MEMS应变传感器品质控制规范.docx

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MEMS应变传感器品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、术语与定义 5

三、产品分类与型号 11

四、质量目标与指标 14

五、设计质量控制 16

六、原材料与外协件控制 19

七、芯片制造过程控制 21

八、微结构加工控制 23

九、封装工艺控制 26

十、电路与信号调理控制 29

十一、生产环境控制 33

十二、设备与工装管理 35

十三、检验与试验方法 37

十四、出厂检验要求 40

十五、型式试验要求 42

十六、可靠性评价 44

十七、校准与计量管理 47

十八、不合

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