MEMS微继电器品质控制规范.docx

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MEMS微继电器品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、适用范围 5

三、术语与定义 7

四、产品分类与型号 9

五、质量目标与原则 13

六、质量管理职责 16

七、设计质量控制 19

八、原材料与外购件控制 22

九、生产环境控制 24

十、微加工过程控制 26

十一、封装与组装控制 28

十二、检验设备与量具管理 31

十三、过程检验与监控 34

十四、成品检验与判定 38

十五、电气性能测试 42

十六、机械性能与寿命测试 46

十七、环境可靠性试验 48

十八、静电

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